тел: (495) 600-40-84
P-611.Z

P-611.Z

Серия P-611.Z представлена однокоординатными линейными пьезоплатформами, предназначенными для перемещения нагрузок до 1.5 кг в направлении оси Z (вертикально вверх) на диапазон до 100 мкм (в режиме обратной связи).

Данные позиционеры отличаются компактными габаритами (44х44х27), что позволяет использовать их в условиях ограниченного рабочего пространства.

Серия P-611.Z представлена двумя модификациями: P-611.ZS и P-611.Z0. В позиционер P-611.ZS встроен тензометрический датчик, который позволяет добиться высокой повторяемости при позиционировании (менее 10 нм). Версия P-611.Z0 может использоваться в приложениях, где положение платформы контролируется внешним датчиком.

Основой привода пьезоплатформ P-611.Z является пьезоактуатор серии PICMA P-885, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.

Позиционеры P-611.Z отличаются малым временем отклика. Например, для перемещения нагрузки в 30 г на расстояние 10 мкм требуется 26 мс.

Помимо пьезоплатформ, перемещающихся вдоль Z направления, компания PI выпускает однокоординатные платформы P-611.1 для перемещения вдоль оси X, двухкоординатные P-611.2, P-611.XZ (XY, XZ) и трёхкоординатные P-611.3 (XYZ) системы позиционирования. Все приведённые выше позиционеры изготавливаются как с тензометрическим сенсором, так и без датчика обратной связи.

Некоторые возможные сферы применения:

  • Интерферометрия
  • Метрология
  • Полупроводниковая промышленность
  • Микроскопия
  • Лазерная технология

Характеристика

P-611.ZS

P-611.Z0

Ед. изм.

Направление перемещения

Z

Z

Характеристики движения и позиционирования

Встроенный сенсор

тензометрический

-

Диапазон перемещений без обратной связи
(от -20 до +120 В)

120

120

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100

-

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

0.2

нм

Разрешение с обратной связью

2

-

нм

Нелинейность

0.1

-

%

Точность повторного позиционирования

< 10

-

нм

Отклонение от поперечной оси Y (Pitch)

±5

±5

мкрад

Отклонение от вертикальной оси Z (Yaw)

±5

±5

мкрад

Механические характеристики

Жёсткость в направлении перемещения

0.45

0.45

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки

460

460

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 30 г

375

375

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 100 г

265

265

Гц

Толкающая / тянущая сила

15 / 10

15 / 10

Н

Характеристики двигателя

Тип пьезокерамики

PICMA®
P-885

PICMA®
P-885

Электрическая ёмкость

1.5

1.5

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC)

1.9

1.9

мкА/ (Гц*мкм)

Прочие условия

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь

Масса

176

176

г

Длина кабеля

1.5

1.5

м

Тип разъёма напряжение / датчик

LEMO / LEMO

LEMO / -