тел: (495) 600-40-84
P-620.Z - P-622.Z

P-620.Z - P-622.Z

Z-пьезоплатформы серии P-620.Z-P-622.Z предназначены для вертикального высокоточного перемещения объектов массой до 1 кг на диапазон до 250 мкм (в режиме с обратной связью).

Если платформы используются в режиме без обратной связи (координата определяется, например, с помощью внешнего датчика), то максимальный диапазон перемещения составит 400 мкм.

Данные позиционеры имеют компактные габариты, что позволяет их использовать в условиях ограниченного пространства.

Основой привода данных платформ является пьезоактуатор P-883/ P-885 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.

Платформы оснащены ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Вместе с системой обратной связи это позволяет скомпенсировать нелинейные эффекты, связанные с пьезокерамикой и достичь повторяемости перемещения в нанометровом диапазоне.

Существует возможность конструирования двух- и трёхкоординатных систем вместе с линейными однокоординатными платформами P-620.1-P-629.1 и двухкоординатными платформами P-620.2 – P‑629.2.

Для управления данными платформами производитель выпускает цифровой контроллер серии E-709 с интерфейсами USB, RS-232, SPI для обмена данными с ПК.

Некоторые области применения P-620.Z-P-622.Z:

· Интерферометрия

· Метрология

· Полупроводниковая промышленность

· Микроскопия

· Лазерная технология

Характеристики

P-620.ZCD /
P-620.ZCL

P-621.ZCD /
P-621.ZCL

P-622.ZCD /
P-622.ZCL

Единица измерения

Допуск

Направление перемещения

Z

Z

Z

Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный

ёмкостный

Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В)

65

140

400

мкм

мин (20%/-0%)

Диапазон перемещений с обратной связью

50

100

250

мкм

Разрешение без обратной связи

0.1

0.2

0.5

нм

Разрешение с обратной связью

0.2

0.3

1

нм

тип

Нелинейность

0.02

0.02

0.02

%

тип

Точность повторного позиционирования

±1

±1

±1

нм

тип

Отклонение вокруг осей X/Y

<20

<20

<80

мкрад

тип

Жёсткость

0.5

0.6

0.24

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки

1000

790

360

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 30 г

690

500

270

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие

10/5

10/8

10/8

Н

макс

Допустимая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Допустимая боковая нагрузка

10

10

10

Н

макс

Тип пьезокерамики

PICMA® P-883

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая ёмкость

0.7

3

6.2

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока

1.8

3.8

3.1

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Габариты

30 мм × 30 мм × 15 мм

40 мм × 40 мм × 17.5 мм

50 мм × 50 мм × 17.5 мм

Масса

0.12

0.17

0.24

кг

±5%

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика/ сигнального кабеля

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO

Sub-D/LEMO