тел: (495) 600-40-84
P-733.Z

P-733.Z

Z-пьезоплатформа серии P-733.Z предназначена для вертикального перемещения объектов с массой до 5 кг на дистанцию 100 мкм (в режиме с обратной связью).

Апертура размером 50 х 50 мм позволяет использовать платформу во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения излучения через подвижный элемент.

Основой привода данной платформы является пьезоактуатор P-885 серии PICMA, характеризующийся низким током утечки и большим сроком службы.

Платформа серии P-733.Z оборудована ёмкостным датчиком с прямым методом измерения положения. Измерение величины перемещения при помощи ёмкостных датчиков осуществляется без физического контакта, что позволяет избежать трения. Отсутствие гистерезиса, субнанометровое разрешение и высокая линейность делают ёмкостные датчики отличным инструментом для реализации обратной связи.

Пьезоплатформа обладает высокими динамическими характеристиками. К примеру, при перемещении на 100 мкм время стабилизации составляет 11.4 мс.

Доступны версии платформы для работы в условиях вакуума, а также для XY/XYZ позиционирования.

Характеристика

P-733.ZCD/
P-733.ZCL

Единица измерения

Допуск

Направление перемещения

Z

Тип встроенного датчика

ёмкостный

Диапазон перемещений без обратной связи (от -20 до +120 В)

115

мкм

мин (20%/-0%)

Диапазон перемещений с обратной связью

100

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

нм

тип

Разрешение с обратной связью

0.3

нм

тип

Нелинейность

0.03

%

тип

Точность повторного позиционирования

<2

нм

тип

Отклонение вокруг оси Z

<10

мкрад

тип

Отклонение вокруг оси X

<5

мкрад

тип

Отклонение вокруг оси Y

<5

мкрад

тип

Жёсткость

2.5

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки

700

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 120 г

530

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г

415

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие

50/20

Н

макс

Тип пьезокерамики

PICMA® P-885

Электрическая ёмкость

6

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока

7.5

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от +20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Габариты

100х100×25

мм

Масса

580

г

±5%

Длина кабеля

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика

Sub-D/2× LEMO

Тип разъёма для сигнального кабеля

Sub-D/1× LEMO