| Серия/Модель |
Краткая характеристика |
Диапазон перемещения, мкм |
Допустимая нагрузка, кг |
Минимальный шаг, нм |
Тип датчика |
|
P-611.2 – P-611.XZ
 |
Двухкоординатные пьезоплатформы, малые габариты, высокая надёжность |
100х100 |
1.5 |
2 |
тензометрический/- |
|
P-541.Z
 |
Пьезоплатформы с апертурой, высокая точность, короткое время стабилизации |
100 мкм/±0.4 мрад |
5 |
0.2 нм/0.02 мкрад |
ёмкостный/тензометрический/- |
|
Р-713
 |
XY пьезоплатформа с апертурой, компактные габариты, короткое время стабилизации |
15 |
0.2 |
1 |
-/тензодатчик |
|
P-562.6CD
 |
шестикоординатная пьезоплатформа, высокая динамика и точность, с апертурой, адаптирована для вакуума |
200 мкм/1 мрад |
5 |
1 нм/ 0.1 мкрад |
ёмкостный |
|
P-612.2
 |
XY-пьезоплатформы с апертурой 20х20 мм, модификации с тензодатчиком |
100 |
1.5 |
5 |
тензометрический/- |
|
P-620.2 - P-629.2
 |
XY-пьезоплатформы, вакуумные версии, ёмкостный датчик |
50 - 1500 |
1 |
0.2/0.4/0.7/1.4/3.5 |
ёмкостный |
|
P-733
 |
Перемещение по координатам XY, XYZ. Апертура 50 х 50 мм. |
100 х 100 х 10 |
5 |
0.1 / 0.2 / 0.3 |
ёмкостный |
|
P-611
 |
Компактная трёхосевая система нанопозиционирования |
120х120х120 |
1.5 |
0.2 |
-/тензо метрический |
|
P-561 • P-562 • P-563 PIMars
 |
Перемещение по координатам XYZ. Апертура 66 х 66 мм. |
300 х 300 х 300 |
5 |
0.1 / 0.2 / 0.4 / 0.5 |
ёмкостный |
|
P-541.2–P-542.2
 |
Низкопрофильная XY-пьезоплатформа с большой апертурой |
до 200х200 |
2 |
до 0.2 |
-/ёмкостный/тензо метрический |
