тел: (495) 600-40-84
P-541.Z

P-541.Z

Пьезоплатформы серии P-541.Z разработаны для высокоточного позиционирования объектов с массой до 5 кг по осям Z и Z, θX, θY.

Данные позиционеры имеют низкий профиль и апертуру 80х80 мм, что позволяет их использовать во многих приложениях, где требуется прохождение излучения через подвижный элемент.

Пьезопозиционеры P-541.Z представлены моделями с тензодатчиками (P-541.ZSL и P-541.TSL) и ёмкостными датчиками (P-541.ZCD и P-541.TCD) для обеспечения высокой повторяемости при позиционировании. Ёмкостные датчики обладают более высокой линейностью в сравнении с тензодатчиками и применяются в приложениях, где требуется обеспечить максимальную точность позиционирования. Версии без датчика положения (P-541.Z0L и P-541.T0L) могут применяться для задач, где требуется высокое разрешение при позиционировании, при этом положение платформы или перемещаемого объекта контролируется с помощью внешнего датчика.

В платформах P-541.Z в качестве двигателя используются пьезоактуаторы P-885 серии PICMA, характеризующиеся большим сроком службы.

Позиционеры P-541.Z относятся к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы. 
Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.

Пьезоплатформы P-541.Z обладают коротким временем стабилизации. К примеру, время стабилизации для платформы P-541.ZCD (с нагрузкой 20 г), управление которой осуществляется с помощью усилителя E-503 и сервомодуля E-509.C1A, составляет 9 мс. 

Характеристики

P-541.ZCD

P-541.TCD*

P-541.ZSL

Ед. измер.

Допуск

Направление перемещения

Z

Z, θX, θY

Z

Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный

тензометрический

Диапазон перемещения вдоль оси Z, без обратной связи, от -20 до 120 В

150

150

150

мкм

мин. (20 % / -0 %)

Диапазон перемещения по осям θX, θY, без обратной связи, от -20 до 120 В

-

±0.6

-

мрад

мин. (20 % / -0 %)

Диапазон перемещения с обратной связью вдоль оси Z

100

100

100

мкм

Диапазон перемещения по осям θX, θY с обратной связью

-

±0.4

-

мрад

Разрешение при перемещении вдоль оси Z в режиме без обратной связи

0.2

0.2

0.2

нм

тип

Разрешение при перемещении по осям θX, θY в режиме без обратной связи

-

0.02

-

мкрад

тип

Разрешение при перемещении вдоль оси Z в режиме с обратной связью

0.5

0.5

2.5

нм

тип

Разрешение при перемещении вдоль осей θX, θY в режиме с обратной связью

-

0.08

-

мкрад

тип

Нелинейность

0.03

0.03

0.2

%

тип

Точность повторного позиционирования при перемещении вдоль оси Z

<2

<2

<10

нм

тип

Точность повторного позиционирования при перемещении по осям θX, θY

-

0.01

-

мкрад

тип

Отклонение вокруг осей X и Y при движении вдоль Z

±15

±15

±15

мкрад

тип

Жёсткость в направлении оси Z

0.8

0.8

0.8

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки (Z)

410

410

410

Гц

±20%

Резонансная частота без нагрузки (θX, θY)

-

330

-

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г (Z)

250

250

250

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г (θX, θY)

-

270

-

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие

50/20

50/20

50/20

Н

макс

Тип пьезокерамики

P-885 серии PICMA

P-885 серии PICMA

P-885 серии PICMA

Электрическая ёмкость

6.3

6.3

6.3

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока

7.9

7.9

7.9

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от 20 до 80

от 20 до 80

от 20 до 80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Масса

750

750

730

г

±5%

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика

Sub-D Special

Sub-D Special

LEMO

Тип разъёма для сигнального кабеля

Sub-D Special

Sub-D Special

LEMO


Характеристики

P-541.TSL*

P-541.Z0L

P-541.T0L*

Ед. измер.

Допуск

Направление перемещения

Z, θX, θY

Z

Z, θX, θY

Тип встроенного датчика

ёмкостный

-

-

Диапазон перемещения вдоль оси Z, без обратной связи, от -20 до 120 В

150

150

150

мкм

мин. (20 % / -0 %)

Диапазон перемещения по осям θX, θY, без обратной связи, от -20 до 120 В

±0.6

-

±0.6

мрад

мин. (20 % / -0 %)

Диапазон перемещения с обратной связью вдоль оси Z

100

-

-

мкм

Диапазон перемещения по осям θX, θY с обратной связью

±0.4

-

-

мрад

Разрешение при перемещении вдоль оси Z в режиме без обратной связи

0.2

0.2

0.2

нм

тип

Разрешение при перемещении по осям θX, θY в режиме без обратной связи

0.02

-

0.02

мкрад

тип

Разрешение при перемещении вдоль оси Z в режиме с обратной связью

2.5

-

-

нм

тип

Разрешение при перемещении вдоль осей θX, θY в режиме с обратной связью

0.25

-

-

мкрад

тип

Нелинейность

0.2

-

-

%

тип

Точность повторного позиционирования при перемещении вдоль оси Z

<10

-

-

нм

тип

Точность повторного позиционирования при перемещении по осям θX, θY

0.05

-

-

мкрад

тип

Отклонение вокруг осей X и Y при движении вдоль Z

±15

±15

±15

мкрад

тип

Жёсткость в направлении оси Z

0.8

0.8

0.8

Н/мкм

±20%

Резонансная частота без нагрузки (Z)

410

410

410

Гц

±20%

Резонансная частота без нагрузки (θX, θY)

330

-

330

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г (Z)

250

250

250

Гц

±20%

Резонансная частота с нагрузкой 200 г (θX, θY)

270

-

270

Гц

±20%

Толкающее/тянущее усилие

50/20

50/20

50/20

Н

макс

Тип пьезокерамики

P-885 серии PICMA

P-885 серии PICMA

P-885 серии PICMA

Электрическая ёмкость

6.3

6.3

6.3

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока

7.9

7.9

7.9

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от 20 до 80

от 20 до 80

от 20 до 80

° С

Материал

Алюминий

Алюминий

Алюминий

Масса

730

700

700

г

±5%

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

м

±10 мм

Тип разъёма для датчика

3хLEMO

-

-

Тип разъёма для сигнального кабеля

3хLEMO

LEMO

3хLEMO


*Перемещение по осям Z, θX, θY взаимозависимо. Невозможно добиться максимального хода по всем осям одновременно.