тел: (495) 600-40-84
P-562.6CD

P-562.6CD

Платформа P-562.6CD является шестикоординатной системой нанопозиционирования, которая обеспечивает перемещение объектов с массой до 5 кг по трём линейным осям (X,Y,Z) на дистанцию до 200 мкм и вокруг этих осей (θX, θY, θZ) на угол до ±0.5 мрад.

Апертура размером 66 х 66 мм позволяет использовать данную платформу во многих задачах нанопозиционирования, требующих прохождения света через подвижный элемент.

Основой двигателя P-562.6CD являются пьезоактуаторы серии PICMA, отличающиеся высокими эксплуатационными характеристиками и надёжностью.

Платформа P-562.6CD относится к системам параллельной кинематики, в которых все встроенные в платформу пьезоактуаторы воздействуют на одну подвижную часть платформы. Использование в многокоординатной платформе только одной движущейся части позволяет минимизировать перемещаемую массу и тем самым улучшить динамические характеристики.

В P-562.6CD встроены ёмкостные датчики положения. В совокупности с системой обратной связи датчики позволяют пользователю получать информацию о текущем положении пьезоплатформы, а также обеспечивают компенсацию таких нежелательных эффектов, как гистерезис, крип, что повышает точность повторного позиционирования.

Платформа P-562.6CD адаптирована для работы в вакууме до 10-9 гПа.

Существует возможность разработки платформы с другими диапазонами перемещения по запросу.

Характеристики

P-562.6CD

Единицы измерения

Допуск

Направление перемещения

X, Y, Z, θX, θY, θZ

Встроенный сенсор

ёмкостный

Диапазон перемещения с обратной связью в направлении X, Y, Z

200

мкм

Диапазон перемещения с обратной связью в направлении θX, θY, θZ

±0.5

мрад

Разрешение при перемещении вдоль X, Y, Z

1

нм

тип

Разрешение при перемещении вокруг θX, θY, θZ

0.1

мкрад

тип

Нелинейность (X, Y, Z)

0.01

%

тип

Нелинейность (θX, θY, θZ)

0.1

%

тип

Точность повторного позиционирования (X, Y, Z)

±2/±2/±3

нм

тип

Точность повторного позиционирования (θX, θY, θZ)

±0.1/±0.1/±0.15

мкрад

тип

Плоскопараллельность

<15

нм

тип

Резонансная частота без нагрузки (X, Y, Z)

110/110/190

Гц

±20%

Допустимая нагрузка

50

Н

макс

Тип пьезокерамики

PICMA

Электрическая ёмкость (X, Y, Z)

7.4 / 7.4 / 14.8

мкФ

±20%

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC) в направлении X/Y/Z

4.6 / 4.6 / 9.2

мкА/ (Гц*мкм)

±20%

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий

Масса

1.45

кг

±5%

Длина кабеля

1.5

м

±10 мм

Разъём сигнального кабеля/датчика

2 × Sub-D Special