тел: (495) 600-40-84
P-611.2 – P-611.XZ

P-611.2 – P-611.XZ

Пьезоплатформы серии P-611.2 – P-611.XZ предназначены для нанопозиционирования объектов с массой до 1.5 кг в диапазоне до 100 мкм по осям XY (модификации P-611.2S и P-611.20) и XZ (модификации P-611.XZS и P-611.XZ0).

Данные платформы имеют малые габариты 44х44 мм, что позволяет их использовать в условиях ограниченного пространства.

Модификации P-611.2S и P-611.XZS оснащены тензометрическим датчиком, который в совокупности с системой обратной связи позволяет скомпенсировать нелинейные эффекты, связанные с пьезокерамикой и достичь точности повторного позиционирования менее 10 нм, при этом пользователь получает возможность отслеживать текущую координату платформы.

Модификации P-611.20 и P-611.XZ0 предназначены для задач, связанных с перемещением с субнанометровым разрешением, в которых не требуется отслеживать координату платформы или где информация о положении платформы контролируется внешним устройством.

Основой двигателя для P-611.2 – P-611.XZ являются пьезоактуаторы P-885 серии PICMA, которые отличаются низким током утечки и большим сроком службы.

Пьезоактуаторы и датчики не нуждаются в обслуживании и не подвержены износу, что обеспечивает высокую надёжность оборудования.

Компания Physik Instrumente выпускает также одноосевые и трёхосевые пьезоплатформы на базе P-611.1.

Для управления данными позиционерами Physik Instrumente выпускает цифровой контроллер серии E-727 с интерфейсами Ethernet, USB и RS-232 для обмена данными с ПК.

Некоторые возможные области применения:

  • Интерферометрия
  • Метрология
  • Полупроводниковая промышленность
  • Микроскопия
  • Лазерная технология  

Технические характеристики

P-611.2S

P-611.20

P-611.XZS

P-611.XZ0

Ед. измер.

Направление перемещения

X,Y

X,Y

X,Z

X,Z

Тип встроенного датчика

тензометрический

-

тензометрический

-

Диапазон перемещений без обратной связи
(от -20 до +120 В)

120

120

120

120

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью

100

-

100

-

мкм

Разрешение без обратной связи

0.2

0.2

0.2

0.2

нм

Разрешение с обратной связью

2

-

2

-

нм

Нелинейность

0.1

-

0.1

-

%

Точность повторного позиционирования

<10

-

<10

-

нм

Отклонение от вокруг осей X,Y (Pitch)

±5

±5

±5

±5

мкрад

Отклонение вокруг X при движении вдоль Z

-

-

±10

±10

мкрад

Отклонение вокруг оси X (Yaw)

±20

±20

±20

±20

мкрад

Отклонение вокруг оси Y (Yaw)

±10

±10

-

-

мкрад

Отклонение вокруг Y при движении вдоль Z

-

-

±10

±10

мкрад

Жёсткость

0.2

0.2

0.2; Z: 0.35

0.2; Z: 0.35

Н/мкм

Резонансная частота без нагрузки

X: 345;Y: 270

X: 345;Y: 270

X: 365;Z: 340

X: 365;Z: 340

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 30 г

X: 270; Y: 225

X: 270; Y: 225

X: 280; Z: 295

X: 280; Z: 295

Гц

Резонансная частота с нагрузкой 100 г

X: 180; Y: 165

X: 180; Y: 165

X: 185; Z: 230

X: 185; Z: 230

Гц

Толкающее / тянущее усилие в напралении перемещения

15 / 10

15 / 10

15 / 10

15 / 10

Н

Допустимая нагрузка

15

15

15

15

Н

Тип пьезокерамики

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

PICMA® P-885

Электрическая ёмкость

1.5

1.5

1.5

1.5

мкФ

Динамический коэффициент рабочего тока (DOCC)

1.9

1.9

1.9

1.9

мкА/ (Гц*мкм)

Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

от -20 до +80

° С

Материал

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь

Алюминий, сталь

Габариты

44 × 44 × 25

44 × 44 × 25

44 × 44 × 34

44 × 44 × 34

мм

Масса

0.235

0.235

0.27

0.27

кг

Длина кабеля

1.5

1.5

1.5

1.5

м

Тип разъёма сигнального кабеля

LEMO

LEMO

LEMO

LEMO

Тип разъёма датчика

LEMO

-

LEMO

-