Линейная платформа M-511.HD1 позволяет перемещать нагрузку до 20 кг с нанометровой точностью на дистанцию 100 мм в горизонтальном направлении.Большой диапазон перемещения и нанометровая точность достигается благодаря использованию гибридного привода, сочетающего преимущества пьезоэлектрического и DC двигателей.
Механизм платформы выполнен следующим образом: в перемещении участвуют 2 системы – DC двигатель в паре с шарико-винтовой передачей (ШВП) и пьезоэлектрический двигатель. Пьезоэлектрический двигатель с субмилисекундным временем отклика обеспечивает компенсацию люфта и прерывистого движения в моменты начала движения и остановки платформы. Пьезопривод также компенсирует неравномерность перемещения, вызванную ШВП и значительно улучшает контроль скорости.
Платформа M-511.HD1 оснащена линейным энкодером с разрешением 2 нм. Сигнал от энкодера используется для подачи команд DC и пьезоэлектрическому двигателю.
Для управления гибридными платформами компания Physik Instrumente (PI) разработала специальный контроллер – C-702. Контроллер оснащен интерфейсами TCP/IP, RS-232, VGA, клавиатурой.
Линейная гибридная платформа M-511.HD1 обладает высокими скоростными характеристиками: максимальная скорость перемещения составляет 50 мм/c.
Некоторые возможные применения
• Проверка качества поверхности
• Микроскопия
• Лазерная технология
• Интерферометрия
• Метрология
