Растровый электронный микроскоп (РЭМ) активно используется в настоящее время для исследований элементного состава образцов путем сканирования поверхности образца сфокусированным электронным пучком. Рентгеновское излучение, образуемое при бомбардировке поверхности образца высокоэнергетическими электронами, может быть использовано для проведения элементного анализа. Преимущество этого метода заключается в высоком пространственном разрешении. Однако, тормозное излучение ограничивает чувствительность, и предел обнаружения находиться в интервале от 1 до 0.1 весовых %. При рентгенофлуоресцентном анализе (РФА) возбуждение образца осуществляется с помощью рентгеновских лучей, что позволяет существенно уменьшить фоновое излучение и достичь предела обнаружения в 100 ppm и менее.

Пространственное разрешение РФА может быть улучшено за счет использования поликапиллярной рентгеновской оптики, позволяющей сфокусировать излучение рентгеновской трубки в пятно малого диаметра (10 – 65 мкм). Глубина проникновения рентгеновского излучения в образец больше, чем у электронного луча. Это позволяет исследовать многослойные образцы и улучшает достоверность результатов в однородных образцах.Использование как электронного, так и рентгеновского возбуждений, позволяет объединить полученную информацию от обоих методов. Это особенно важно при исследовании легких элементов, таких как C, N, O, которые не могут быть обнаружены при помощи РФА.

В состав iMOXS-РЭМ входит:

• микрофокусная рентгеновская трубка с воздушным охлаждением фокусирующая поликапиллярная оптика
• адаптер для установки на свободный порт РЭМ
• блок управления для задания высоковольтного напряжения
• программное обеспечение iMOXS-Quant для регистрации и обработки спектров